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質量流量控制器在泄漏率測試中的重要作用

時間:2025-04-28      點擊次數:346

泄漏率測試是工業制造與科研領域中確保系統密封性的關鍵環節,廣泛應用于半導體設備、真空系統、醫療儀器、航空航天等高精度領域。測試的核心目標是量化氣體或液體在密閉系統中的微小泄漏量,通常以標準立方厘米每分鐘(sccm)或類似單位衡量。由于現代工業對密封性的要求日益嚴苛(如半導體工藝中允許的泄漏率可能低至1×10?? sccm級別),傳統檢測手段難以滿足需求,而基于層流壓差式質量流量控制器(MFC)的技術因其高精度、快速響應和環境適應性,逐漸成為泄漏率測試的核心設備。


層流壓差式MFC在泄漏率測試中的核心作用

1. 高精度微流量檢測

泄漏率測試對微小流量變化的捕捉能力要求很高。層流壓差式MFC通過物理原理直接測量質量流量,避免了熱式MFC因低流量靈敏度不足導致的誤差(熱式在低流量時精度可能下降至±1%F.S.以上)。例如,在半導體真空腔體泄漏檢測中,易度智能的MFC可穩定測量0.5 sccm級別的氣體流量變化,確保工藝腔體的密封性符合納米級制造要求。

2. 環境適應性與穩定性

泄漏測試常面臨復雜工況,如溫度波動(-20℃~60℃)、高壓(≤2.5MPa)或腐蝕性介質(如鹵素氣體)。層流壓差式MFC采用316L不銹鋼或哈氏合金流道,耐受高溫蒸汽滅菌(121℃),且抗過載能力顯著優于熱式傳感器。此外,其校準周期長達2-3年,減少了維護頻率,適合連續生產環境。

3. 多參數集成與智能控制

易度智能的MFC可同時顯示溫度、壓力、標況流量、工況流量及累計流量五大參數,并支持RS485/Profibus通信協議。在自動化測試系統中,通過多通道聯控,可同步監測多個泄漏點,顯著提升測試效率。在燃料電池堆的密封性測試中,多臺MFC可實時調節氫氧流量配比,確保泄漏率控制在±0.3%以內。

4. 抗干擾與長期可靠性

層流壓差式MFC的流道結構光滑,避免生物膜或顆粒物殘留,降低誤報風險。其壓電晶體驅動閥體可實現百萬次動作壽命,響應時間≤100ms,適合高頻次測試場景。在醫療麻醉機泄漏檢測中,MFC需在亞秒級響應中維持流量穩定性,避免患者安全風險。


在半導體行業,易度MFC被用于刻蝕機和化學氣相沉積(CVD)設備的泄漏監測,通過精確控制氟化氫、氮氣等工藝氣體的流量,將材料成分偏差控制在±0.8%以內。在生物制藥領域,其產品在疫苗灌裝線的惰性氣體保護環節中,通過FDA認證的衛生型設計,避免了傳統熱式MFC因結構復雜導致的清潔驗證失敗問題。



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