在半導體芯片制造的精密世界中，特種工藝氣體的精準控制直接決定著芯片的性能與良品率。長期以來，這一關鍵領域被國際品牌所壟斷，如今，以陜西易度智能科技有限公司為代表的國產創(chuàng)新力量，通過自主研發(fā)的層流壓差式質量流量計與質量流量控制器，正在打破這一局面，為中國半導體產業(yè)的自主可控提供關鍵技術支撐。

精密掌控半導體制造的“氣體脈搏"

在半導體制造過程中，擴散、刻蝕、化學氣相沉積等關鍵工藝都離不開特種氣體的精準控制。易度智能針對半導體行業(yè)的高標準要求，專門建立了百級潔凈間生產線，確保產品能夠滿足晶圓制造對潔凈度的嚴苛要求。

基于層流壓差原理，通過內置壓力與溫度傳感器實現動態(tài)補償，有效解決了半導體制造中混合氣體控制、快速響應和高精度要求的三大技術痛點。其無需轉換系數即可實現任意比例混合氣體切換的特性，顯著簡化了半導體工藝氣體切換的操作流程，提升了生產效率。

高性能滿足多元應用場景

除了半導體制造，層流壓差式質量流量計在多個對精度要求很高的領域都展現出高性能。

在環(huán)境監(jiān)測領域，特別是大氣污染物采樣中，流量準確性至關重要。便攜式層流質量流量計可直接測量體積流量，匹配大氣顆粒物采樣器的特定需求。它通過了中國環(huán)境監(jiān)測總站長達數月的嚴格穩(wěn)定性測試，其二十四小時流量漂移遠優(yōu)于國家標準限值，保障了PM2.5、二氧化硫等痕量污染物采樣數據的準確可靠。

在新能源領域，如燃料電池的氫氣流量控制、工業(yè)廢氣排放監(jiān)測和碳捕集系統(tǒng)中，工作環(huán)境常伴有高溫、腐蝕性氣體等苛刻條件。采用耐腐蝕材質流道，能長期耐受酸性氣體，環(huán)境適應性強，能在寬溫域和壓力環(huán)境下保持穩(wěn)定運行。

在生物制藥行業(yè)，需要在無菌環(huán)境下進行氣體流量控制，并常常涉及混合氣體的精確配比。內置超過七十種氣體數據庫，支持一鍵切換氣體介質或自定義編輯混合氣體比例，無需人工換算系數。這不僅避免了污染風險，還簡化了操作流程，非常適用于生物反應器供氣、滅菌工藝中的蒸汽流量監(jiān)控，以及呼吸機、麻醉機等醫(yī)療設備的氣體輸送系統(tǒng)。

技術優(yōu)勢奠定國產替代基礎

層流壓差式質量流量計的成功研發(fā)和應用，標志著我國在氣體測控設備領域取得了重大突破。其顯著優(yōu)勢主要體現在以下幾個方面：

高精度與穩(wěn)定性是核心優(yōu)勢。精度可達百分之零點五讀數，重復性優(yōu)于百分之零點一滿量程。其長期穩(wěn)定性佳，保證了在不同工況下數據的可靠性和一致性。

快速響應與高效便捷的特點顯著。毫秒級響應速度，無需預熱，開機即用，極大地提升了工作效率，適合快速啟動和需求多變的應用場景。

環(huán)境適應性強表現出色。能在寬溫范圍、不同壓力及高原低壓等嚴苛條件下穩(wěn)定運行，耐腐蝕設計適應多種復雜氣體介質。

智能化與多功能性提升用戶體驗。內置豐富氣體數據庫、支持混合氣、觸屏操作、數據通訊等功能，大大簡化了操作流程，便于系統(tǒng)集成。

便攜設計與國產化價值帶來額外優(yōu)勢。便攜式型號體積小、重量輕、續(xù)航長，適合現場作業(yè)。其國產化身份打破了國際壟斷，提供了高性價比的選擇，售后服務和供應鏈保障更及時可靠。

重塑中國半導體裝備的“呼吸系統(tǒng)"

作為國內極少數掌握層流壓差式核心技術的企業(yè)，易度智能的研發(fā)團隊以西北工業(yè)大學數名博士后、博士為核心，依托航空宇航專業(yè)背景，在微流量測控領域擁有深厚技術積累。目前已取得多項創(chuàng)新型技術和幾十項國內外認證，并參與了國家層流流量計檢定規(guī)程等標準的制定。

在國產替代趨勢下，在半導體制造、燃料電池測試等領域的表現尤為突出。產品已在多家國內頭部半導體設備商的機臺中實現批量應用，助力國產光刻機、刻蝕機等核心裝備實現流量控制部件的本土化替代。

隨著國產化進程加速，國產質量流量控制器在半導體市場替代需求持續(xù)提升。預計到未來幾年，國產化率將大幅提升，這是行業(yè)對國產質量流量控制器在半導體領域滲透率的預期。

精密氣體流控領域的競賽從未停止，但這一次，中國創(chuàng)新者已躋身第一梯隊。他們的目標明確：將產品穩(wěn)定性做到更好，讓中國半導體設備的每一次“呼吸"都精準無誤。隨著我國雙碳戰(zhàn)略的深化和制造業(yè)的持續(xù)升級，這樣的國產創(chuàng)新技術將為構建自主可控的產業(yè)鏈提供堅實可靠的底層支撐。