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氣體質(zhì)量流量控制器【簡稱MFC】基于內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補(bǔ)償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動(dòng)控制氣體流量，從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。層流質(zhì)量流量控制器可作為主要設(shè)備在高校科研院所和廣泛的工業(yè)過程自動(dòng)化控制中使用。
