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混合氣體質(zhì)量流量計(jì)是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密丈量和控制；具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。而質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。氣體質(zhì)量流量計(jì)(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密丈量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕...

使用流量計(jì)產(chǎn)品的用戶會(huì)發(fā)現(xiàn)，不同廠家產(chǎn)品精度的名稱有不同叫法，有精度、準(zhǔn)確度、精度等級(jí)等，其實(shí)這都說(shuō)的是產(chǎn)品精度。目前市場(chǎng)上流量?jī)x表精度等級(jí)常見的有0.5級(jí)、1.0級(jí)、1.5級(jí)、2.5級(jí)等，級(jí)數(shù)越小，精度（準(zhǔn)確度）就越高。如果兩個(gè)流量計(jì)精度都是1.0%，那么兩塊儀表產(chǎn)品精度就是一樣的嗎？非也！那么區(qū)別在哪里呢？我們經(jīng)常會(huì)看到精度數(shù)據(jù)后面會(huì)有RD、FS、SP這樣的字母，區(qū)別就在這里。這些字母是什么意思？首先，我們先看產(chǎn)品精度公式：精度=(測(cè)量數(shù)據(jù)-標(biāo)準(zhǔn)值)/標(biāo)準(zhǔn)值*1（公式1）...