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硅基負(fù)極材料作為下一代高能量密度鋰離子電池的核心關(guān)鍵材料，其制備過(guò)程對(duì)工藝控制的精確性提出了高要求。在從材料合成、沉積到包覆改性的一系列復(fù)雜工藝中，對(duì)參與反應(yīng)的氣體質(zhì)量流量進(jìn)行精準(zhǔn)控制是決定產(chǎn)品最終性能的命脈。在這一精密體系中，層流壓差式質(zhì)量流量控制器扮演著重要的角色，以其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)保障著負(fù)極材料的制造。在硅基負(fù)極材料的化學(xué)氣相沉積或物理氣相沉積制備環(huán)節(jié)，工藝腔室內(nèi)需要通入硅烷等活性高的反應(yīng)氣體。這一應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)質(zhì)量流量控制器提出了極為嚴(yán)苛的挑戰(zhàn)。硅烷氣體不僅具有自燃特性，...

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，清洗工序是確保芯片良率和可靠性的基石，其潔凈程度直接關(guān)系到最終產(chǎn)品的性能與壽命。在這一系列精密無(wú)比的清洗環(huán)節(jié)中，對(duì)工藝氣體或液體流量的精確控制，成為了決定清洗效果的關(guān)鍵。其中，層流壓差式質(zhì)量流量控制器以其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在眾多應(yīng)用場(chǎng)景中扮演著核心角色。層流壓差式質(zhì)量流量控制器的工作原理，核心在于創(chuàng)造一個(gè)穩(wěn)定的層流環(huán)境。當(dāng)流體流經(jīng)內(nèi)部精心設(shè)計(jì)的層流元件時(shí)，其流動(dòng)狀態(tài)被規(guī)范為分層有序的層流，此時(shí)在元件前后會(huì)產(chǎn)生一個(gè)與質(zhì)量流量成正比的穩(wěn)定壓差。通過(guò)高精度傳感器測(cè)...

在精密制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)和能源開(kāi)發(fā)等領(lǐng)域，氣體流量的精確測(cè)量直接關(guān)系到工藝質(zhì)量、數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和生產(chǎn)效益。陜西易度智能科技有限公司自主研發(fā)的P系列便攜式層流壓差質(zhì)量流量計(jì)，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)設(shè)計(jì)和性能，正在為各行各業(yè)提供可靠的流量測(cè)量解決方案，成為國(guó)產(chǎn)儀器儀表的重要代表。核心技術(shù)原理易度P系列流量計(jì)基于層流壓差原理設(shè)計(jì)，通過(guò)精密層流元件將湍流氣體轉(zhuǎn)化為規(guī)則層流，利用壓差傳感器測(cè)量層流元件兩端的壓力差，結(jié)合內(nèi)置的高精度溫度與壓力傳感器實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境波動(dòng)，直接將工況流量轉(zhuǎn)化為標(biāo)況質(zhì)量流量。這...

在現(xiàn)代工業(yè)流程中，蒸汽流量的精確測(cè)量對(duì)過(guò)程控制、能效管理和安全生產(chǎn)具有至關(guān)重要的意義。蒸汽流量計(jì)廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)，包括能源、化工、制藥和食品加工等。然而，蒸汽流量測(cè)量面臨著一系列復(fù)雜的技術(shù)挑戰(zhàn)，尤其是在不同壓力和溫度條件下的性能表現(xiàn)。例如，在低壓環(huán)境中，水的沸點(diǎn)會(huì)顯著降低，這使得蒸汽更容易發(fā)生相變，導(dǎo)致測(cè)量誤差；而在正常或高壓條件下，高溫蒸汽又可能超出傳統(tǒng)流量傳感器的耐溫極限，造成設(shè)備損壞或測(cè)量失真。針對(duì)這些挑戰(zhàn)，易度層流壓差式質(zhì)量流量控制器提供了一種創(chuàng)新性的解決方案。該技...

在當(dāng)代半導(dǎo)體工業(yè)中，無(wú)水氟化氫作為一種高效的干式蝕刻劑與清潔氣體，正發(fā)揮著不可替代的作用。隨著集成電路制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，對(duì)工藝精度的要求日益嚴(yán)苛，AHF在晶圓沉積薄膜蝕刻與機(jī)臺(tái)設(shè)備內(nèi)硅類(lèi)殘留清潔中的應(yīng)用愈發(fā)重要。而在這個(gè)過(guò)程中，易度層流壓差式質(zhì)量流量控制器的精密控制能力，成為確保工藝穩(wěn)定性和重復(fù)性的核心技術(shù)保障。在晶圓制造過(guò)程中，薄膜沉積后的圖形化蝕刻是決定電路性能的關(guān)鍵步驟。無(wú)水氟化氫因其優(yōu)異的蝕刻選擇性和反應(yīng)效率，被廣泛應(yīng)用于多種介質(zhì)膜的精細(xì)加工。在先進(jìn)制程中，工程師們通...

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)是制備各種薄膜材料的關(guān)鍵工藝。這一過(guò)程對(duì)壓力控制提出了高要求，任何微小的壓力波動(dòng)都可能直接影響薄膜厚度均勻性、致密性和結(jié)構(gòu)完整性。陜西易度智能科技有限公司自主研發(fā)的層流壓差式壓力流量控制器，正是針對(duì)這一精密控制需求而設(shè)計(jì)的創(chuàng)新解決方案。LPCVD工藝對(duì)壓力控制的嚴(yán)苛要求LPCVD工藝需要在低于大氣壓的環(huán)境中進(jìn)行的特性，使得壓力成為影響反應(yīng)氣體傳輸、表面反應(yīng)速率和薄膜生長(zhǎng)質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)。傳統(tǒng)的壓力控制方法往往難以同時(shí)滿足穩(wěn)定性、響應(yīng)速度和精...

在半導(dǎo)體芯片制造的精密世界中，特種工藝氣體的精準(zhǔn)控制直接決定著芯片的性能與良品率。長(zhǎng)期以來(lái)，這一關(guān)鍵領(lǐng)域被國(guó)際品牌所壟斷，如今，以陜西易度智能科技有限公司為代表的國(guó)產(chǎn)創(chuàng)新力量，通過(guò)自主研發(fā)的層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)與質(zhì)量流量控制器，正在打破這一局面，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自主可控提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。精密掌控半導(dǎo)體制造的“氣體脈搏”在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，擴(kuò)散、刻蝕、化學(xué)氣相沉積等關(guān)鍵工藝都離不開(kāi)特種氣體的精準(zhǔn)控制。易度智能針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求，專門(mén)建立了百級(jí)潔凈間生產(chǎn)線，確保產(chǎn)品能夠...

在石油化工這一高度復(fù)雜且對(duì)精確度要求高的行業(yè)中，流量的準(zhǔn)確測(cè)量直接關(guān)系到生產(chǎn)安全、能源效率與經(jīng)濟(jì)效益。傳統(tǒng)的流量測(cè)量技術(shù)往往難以兼顧高精度與低干擾，尤其是在復(fù)雜多變的現(xiàn)場(chǎng)工況下。近年來(lái)，基于層流壓差原理的便攜式質(zhì)量流量計(jì)，特別是易度P系列產(chǎn)品，以其高性能表現(xiàn)，正在為該領(lǐng)域的流量監(jiān)測(cè)帶來(lái)全新的解決方案。層流壓差式質(zhì)量流量計(jì)的核心優(yōu)勢(shì)在于其能夠直接測(cè)量流體的質(zhì)量流量，無(wú)需進(jìn)行溫度或壓力的補(bǔ)償計(jì)算，這極大簡(jiǎn)化了操作流程并提高了數(shù)據(jù)的可靠性。在石油化工廠中，天然氣作為一種重要的能源與...